微机电系统科学与技术发展趋势

被引：31

作者：

王立鼎

刘冲

机构：

[1] 大连理工大学机械工程学院!辽宁大连

来源：

大连理工大学学报 | 2000年 / 05期

关键词：

传感器/微机电系统; 微制造技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH16 [机械制造工艺];

学科分类号：

摘要：

阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术 .总结了国内的研究工作 ,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况 ,并提出发展我国微机电系统的几点建议 .

引用

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