光学薄膜样品的温度场和形变场分析

被引:12
作者
刘明强
李斌成
机构
[1] 中国科学院光电技术研究所
关键词
温度场; 形变场; 表面热透镜; 有限元;
D O I
暂无
中图分类号
O484.41 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
通过积分变换理论上求解了光学薄膜样品在脉冲或方波调制激励光作用下的热传导方程和热弹方程,从而获得了样品在瞬态和稳态情况下对应的温度场和形变场.为验证所求解,将理论解析解的计算机模拟结果与有限元的分析结果在时域和空间域进行了比较,两结果获得了较好的一致性;同时讨论了温度,热变形随激励光的调制频率、光斑半径等参数的变化.讨论了此模型在测量光学薄膜样品吸收损耗和表面热变形中的应用.
引用
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页码:3402 / 3409
页数:8
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