TiAlN/Ti多元复合涂层的截面透射电镜研究

被引:9
作者
王永康
夏立芳
雷廷权
熊仁章
白羽
机构
[1] 哈尔滨工业大学
[2] 五二研究所宁波分所
[3] 国防精密加工实验室
关键词
TiAlN; 截面透射电镜; 组织结构; 界面;
D O I
10.14024/j.cnki.1004-244x.2000.06.003
中图分类号
学科分类号
摘要
成功制备了多弧离子镀 Ti Al N/Ti多元复合涂层的截面透射试样 ,并分别用 TEM和 EDS等手段研究了涂层的组织结构和界面结构。结果表明 ,多晶 (Ti,Al) N相是 Ti Al N的主要组成相 ,过渡 Ti层呈现多晶 α- Ti结构。研究发现 ,在 Ti Al N- Ti过渡层界面、Ti过渡层 - HSS基体界面分别存在一个薄的中间层 ,通过衍射和 EDS分析认为前者是 Ti2 Al N相 ,而后者则是 Fe Ti界面相 ,用 XTEM还观察到 Fe Ti相与基体 M'之间的位相关系
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共 1 条
[1]   等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的研究 [J].
王玉魁,韩会民,高路斯,廖勇泉 .
真空, 1996, (01) :24-29