关于光学元件波面测量中的功率谱密度

被引:6
作者
于瀛洁
李国培
机构
[1] 上海大学精密机械工程系
关键词
计量学; 波面测量; 功率谱密度; 光学元件;
D O I
暂无
中图分类号
TH744.5 [];
学科分类号
摘要
讨论了光学件波面检测中 ,采用功率谱密度 (PSD)作为重要评价参数的原因、相关的国际标准、PSD计算方法及PSD结果的评价准则等。虽然所进行的讨论主要是针对高功率激光系统中的光学元件检测 ,但对于其它应用领域的检测也是有借鉴意义的
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