微型光谱仪的发展

被引：28

作者：

鞠挥

吴一辉

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春

[3] 吉林长春

来源：

关键词：

微型光谱仪; 微机电系统; 微光学; 微制造技术;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.01.009

中图分类号：

TH744.1 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

随着MEMS、微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向。本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪的发展进行了比较全面的综述,最后对研究微型光谱仪的意义进行了总结。

引用

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页数：8

共 7 条

[1] 现代分析仪器发展的前沿技术和新思想 [J].

范世福 .

[2] 寻找微结构的市场 [J].

鞠挥 .

[3] 微型光电机械系统技术在光通信中的应用及展望 [J].

潘武 ;

钟先信 ;

党明瑞 .

[4] 硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺 [J].

温志渝，钟先信，黄友恕，徐涛，孙晓松，朱维安 .

[5]

光谱仪器原理[M]. 北京理工大学出版社 , 李全臣, 1999

[6]

二元光学[M]. 国防工业出版社 , 金国藩等著, 1998

[7]

Sensitivityofintegratedop-ticalgratingandprismcouplersas(Bio)chemicalsensors .2 LUKOSZW,TIEFENTHALERK. SensorsandActuators . 1998