电子束物理气相沉积工艺制备超薄高温结构材料的研究

被引:12
作者
马李
孙跃
赫晓东
李垚
机构
[1] 哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所
关键词
金属热防护系统; 高温结构材料; 电子束物理气相沉积; 微叠层材料;
D O I
暂无
中图分类号
TB383.2 [];
学科分类号
摘要
介绍了包括热障涂层、高温合金薄板、金属/陶瓷及金属/金属间化合物微叠层薄板等金属热防护系统结构材料的特点,并简要介绍了电子束物理气相沉积设备的工作原理、结构及其工艺特点。着重评述了利用该工艺制备多种体系高温结构材料的研究现状,最后对未来的发展趋势作出了客观的评价与展望。
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