用动态变化的电子束蒸发工艺制备优质ITO透明导电膜

被引：5

作者：

林揆训

林璇英

符史流

陈家宜

机构：

[1] 汕头大学物理系

[2] 汕头大学物理系汕头

[3] 汕头

[4] 汕头

来源：

功能材料 | 1993年 / 05期

关键词：

铟锡氧化物(ITO); 透明导电膜; 电子束; 蒸发; 静态工艺; 动态工艺; 退火工艺;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

在分析用电子束蒸发制备铟锡氧化物(ITO)透明导电膜的静态工艺流程的基础上,提出了多种参数同步变化的动态工艺流程。用这种新颖的工艺流程制备了优质的ITO透明导电膜,方块电阻为5Ω时,透光率大于90％,并对静态、动态和退火工艺的实验结果进行了综合分析。实验结果和理论分析表明,动态变化的电子束蒸发工艺是制备优质ITO透明导电膜的有效方法。

引用

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