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三维扫描技术在薄膜厚度分布测量中的应用附视频
被引：3
作者：
李鸣明
孙燕
赵宏
机构：
[1] 西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所
[2] 空军工程大学工程学院
来源：
关键词：
宽带光源;
白光干涉;
相位跟踪;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484.4 [薄膜的性质];
学科分类号：
摘要：
提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法 ,介绍了测量系统各部分的结构 ,给出了测量结果 实验表明 ,对于硅片上的PbTiO3薄膜 ,测试误差小于 7nm
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