小角x射线散射确定TiNi薄膜中晶化粒子的长大激活能

被引:11
作者
孟繁玲
李永华
徐耀
王煜明
机构
[1] 吉林大学材料科学系,吉林大学材料科学系,吉林大学材料科学系,吉林大学材料科学系长春,长春,长春,长春
关键词
TiNi薄膜; 晶化粒子; 长大激活能;
D O I
暂无
中图分类号
O722.5 [];
学科分类号
摘要
用小角x射线散射技术研究以直流磁控溅射方法制备TiNi合金薄膜其退火生成的晶化粒子的长大行为 .发现在室温下溅射的TiNi合金薄膜存在小于 1nm尺寸的微空洞 ,将退火后薄膜的小角x射线散射强度扣除退火前微空洞产生的小角x射线散射强度 ,用这种方法得到的散射强度遵从Porod定律 ;而用通常方法扣除背底得到的散射强度结果不满足Porod定律 .TiNi合金薄膜在 733— 793K之间退火晶化粒子的长大激活能Eg=30 1kJ mol.
引用
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页码:2086 / 2089
页数:4
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