熔石英亚表面划痕激光诱导损伤阈值实验研究

被引:11
作者
田东斌 [1 ]
祖小涛 [1 ]
袁晓东 [2 ]
徐世珍 [1 ]
郭袁俊 [1 ]
蒋晓东 [2 ]
李绪平 [1 ]
吕海兵 [2 ]
郑万国 [2 ]
机构
[1] 电子科技大学物理电子学院
[2] 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
关键词
YAG激光; 熔石英; 亚表面缺陷; 损伤阈值;
D O I
暂无
中图分类号
TN249 [激光的应用];
学科分类号
摘要
用原子力显微镜和光学显微镜观测酸蚀后熔石英亚表面划痕,并根据形貌特征将其分为Boussinesq-point-force crack(BPFC)、Hertzian-conical scratch(HCS)和Plastic indent(PI)三类,测试了各类划痕的损伤阈值,讨论了激光损伤机制。结果表明锐度较大的BPFC损伤阈值不超过2.0 J/cm2;深度小于1μm的HCS阈值可达2.6 J/cm2;形变较大的PI阈值至2.8 J/cm2,形变较小的PI的激光损伤阈值与无缺陷材料相当。BPFC和深度超过1μm的HCS是导致熔石英损伤阈值低的主要因素。
引用
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页码:1547 / 1550
页数:4
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