微机械自润滑材料的摩擦性能研究

被引：4

作者：

张鹏

刘刚

田扬超

机构：

[1] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

[2] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥

[3] 合肥

来源：

微细加工技术 | 2002年 / 01期

关键词：

Ni-MoS2; LIGA; MEMS; 微摩擦;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB34 [功能材料];

学科分类号：

080906 [电磁信息功能材料与结构];

摘要：

研究了Ni MoS2 自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌 ,并分析其摩擦特性 ,发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩擦系数影响较大 ;即使MoS2 含量较少 ,Ni MoS2 复合镀层的极限剪切模量也比金属Ni降低很多。这为LIGA技术制造自润滑MEMS器件提供了有益的参考 ,并提供低MoS2 含量的Ni MoS2 复合材料的一些基本性质。

引用

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共 8 条

[1]

自润滑微机械系统研究 [J].