电子束蒸镀Y2O3-ZrO2减反射膜用于1.3μm半导体激光器

被引：1

作者：

王浙辉

林理彬

卢铁城

机构：

[1] 四川大学物理系辐射物理及技术国家教委开放实验室!成都

来源：

关键词：

半导体激光器; 半导体光激射器; 外微分量子效率; Y2O3-ZrO2; 减反射膜; 光学增透膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN248.4 [半导体激光器];

学科分类号：

摘要：

用ＤＭＰ４５０型电子束镀膜机，制备了Ｙ２Ｏ３ＺｒＯ２膜，并将它用作１．３μｍ半导体激光器的减反射膜．测试结果表明，镀膜后的半导体激光器其外微分子量效率明显提高，线性化也有改善．对于减反程度很高的管子，出现了超辐射现象．本文对这些现象及有关机理进行了讨论．

引用

页码：971 / 976

页数：6

共 4 条

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