Al2O3、ZrO2功能薄膜的性能及制备技术

被引：2

作者：

惠松骁，周卓华，许大庆，赵建生

机构：

[1] 武汉华中理工大学材料系

来源：

电子工艺技术 | 1996年 / 02期

关键词：

功能薄膜，涂层技术，氧化物;

D O I：

10.14176/j.issn.1001-3474.1996.02.003

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

综述了Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２功能薄膜的性能、用途、制备技术及国内外研究概况；展望了其今后的应用前景并提出了需要解决的问题。

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