太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究

被引：2

作者：

张晓丹

赵颖

高艳涛

朱锋

魏长春

孙建

耿新华

熊绍珍

机构：

[1] 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所

来源：

物理学报 | 2005年 / 10期

关键词：

本征微晶硅薄膜; 拉曼光谱; x射线衍射;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN304 [材料];

学科分类号：

摘要：

采用VHF-PECVD技术制备了系列不同硅烷浓度和反应气压的微晶硅薄膜.运用拉曼散射光谱和x射线衍射对制备的材料进行了结构分析.在实验研究的范围内,制备材料的晶化程度随硅烷浓度的增加而降低.XRD的测试结果表明制备的微晶硅材料均体现了(220)方向择优.应用在电池的有源层中,制备出了效率达7·1%的单结微晶硅太阳电池,电池的结构是glass/ZnO/p(μc-SiH)/i(μc-SiH)/n(a-SiH/Al),没有ZnO背反射电极,有源层的厚度仅为1·2μm.

引用

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