无衍射光莫尔条纹法直线度测量仪

被引：5

作者：

赵斌

机构：

[1] 华中科技大学机械科学与工程学院仪器系武汉

来源：

关键词：

无衍射光; 莫尔条纹; 直线度;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2003.01.018

中图分类号：

TG83 [形位偏差测量及其量仪];

学科分类号：

摘要：

提出用无衍射光和环光栅重叠产生环状莫尔条纹的技术进行空间直线度测量的技术 ,给出了理论分析、仪器结构和原理实验 ,并对该方法在同时实现高分辨率和大量程直线度测量的可能性 ,以及抗激光器漂移等方面的特点进行了讨论。

引用

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