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高分辨X射线双晶衍射技术在半导体薄膜材料研究中的应用
被引：3
作者：
麦振洪
机构：
[1] 中国科学院物理研究所北京
来源：
关键词：
摇摆曲线;
衬底;
基片;
外延膜;
点阵;
双晶衍射技术;
射线衍射;
婚配不当;
失配;
膜厚;
高分辨;
点阵常数;
半宽度;
半峰宽;
晶体;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文介绍了Ｘ射线双晶衍射技术的原理和对半导体外延膜的检测；对普遍关心的衬底与外延膜的 点阵失配、膜厚和成分及其变化的测定、衬底和外延膜完美性的检测以及超晶格结构和非常薄的外延膜 的评价等作了扼要的综述．
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页码：181 / 186
页数：6
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