MEMS三维微触觉测头的低频振动测试系统

被引：4

作者：

李源 ^{[1
,2
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傅星 ^{[1
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谢初南 ^{[2
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沈瑶琼 ^{[2
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安兆亮 ^{[2
]}

栗大超 ^{[1
]}

胡小唐 ^{[1
]}

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 上海市计量测试技术研究院

来源：

天津大学学报 | 2009年 / 42卷 / 03期

关键词：

微触觉测头; 振动测试; 三维测量; 微机电系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH825 [振动测量仪表];

学科分类号：

摘要：

针对一种MEMS三维微触觉测头,构建了基于Suss Microtec三维微定位器和PI压电陶瓷的动态测试装置,对测头的动态性能进行了表征.分别测试了测头在轴向和横向负载下对不同幅度低频振动信号的响应情况,研究了测量过程的短时重复性能.结果表明,压电陶瓷位移-电压曲线的非线性误差在轴向测量模式下小于0.102%,横向测量模式下小于0.507%.

引用

页码：273 / 277

页数：5

共 3 条

[1] MEMS中几何量的测试方法 [J].