金属薄膜制备及物性测量系列实验

被引：13

作者：

吴平

邱宏

黄筱玲

田跃

赵雪丹

潘礼庆

王凤平

罗胜

机构：

[1] 北京科技大学应用科学学院物理系

来源：

关键词：

金属薄膜; 普通物理实验; 研究性教学;

D O I：

10.16854/j.cnki.1000-0712.2006.05.014

中图分类号：

O4-33 [物理学实验方法与设备];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

介绍了由模拟真空实验和“金属薄膜的制备”、“金属薄膜厚度的测量”、“金属薄膜电阻率的测量”,以及“金属薄膜生长过程的动态监测”等4个实验组成的金属薄膜制备与物性测量系列实验.这组实验与现代科学技术发展联系紧密,仪器设备可靠,操作简单,适合于普通物理实验阶段的研究性教学.

引用

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