微细机械的研究动态及其应用前景展望

被引：3

作者：

唐苏亚

机构：

[1] 涟水县工业企业技术管理服务中心

来源：

微电机 | 1995年 / 04期

关键词：

微细机械，加工，研究，应用，展望;

D O I：

10.15934/j.cnki.micromotors.1995.04.008

中图分类号：

TM38 [微电机];

学科分类号：

080801 ;

摘要：

论述微细机械的研究发展概况、微加工技术及超微电动机的最新研制状况，并对微细机械的应用前景进行了展望，指出微细机械将成为跨世纪的高新技术领域里的一个重要分支和高附加值的新兴产业。

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[1] 微机械技术正面临新突破(二) [J].

鲍敏杭 .

仪表技术与传感器, 1994, (01) :3-5