微机电系统的研究内容与发展现状

被引：34

作者：

李国平

陈子辰

机构：

[1] 浙江大学机械与能源工程学院生产工程研究所

[2] 浙江大学机械与能源工程学院生产工程研究所浙江杭州

[3] 宁波大学机械工程系

[4] 浙江宁波

[5] 浙江杭州

来源：

微电子学 | 2001年 / 06期

关键词：

微机电系统; 微执行器; 微传感器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

概述了微机电系统 ( MEMS)的定义和特征 ,从理论基础、技术基础和工程应用三方面 ,阐述了微机电系统的研究内容 ,简要介绍了 MEMS基础技术及 MEMS器件的研究现状

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页码：389 / 391

页数：3

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Hirano, T .

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