TiN薄膜腐蚀过程的电化学原子力显微镜原位研究

被引：6

作者：

俞春福

徐久军

王亮

许晓磊

黑祖昆

机构：

[1] 大连海事大学材料工艺研究所

来源：

材料保护 | 2001年 / 12期

关键词：

TiN薄膜; 腐蚀; 电化学原子力显微镜; 原位观察;

D O I：

10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2001.12.007

中图分类号：

TG174.3 [腐蚀试验及设备];

学科分类号：

摘要：

用离子束增强沉积 (IBED)技术在 1Cr18Ni9不锈钢上制备了TiN薄膜 ,并用电化学原子力显微镜 (ECAFM) ,从纳米级空间分辨度对其在 3%NaCl溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究。结果表明 ,TiN薄膜在极化电位的阴极区域发生钛氧化物膜的还原溶解 ;在低阳极极化电位下 ,发生轻微腐蚀 ,当阳极极化电位进一步提高 ,在 2 0 0～ 30 0mV出现电解抛光现象。可见 ,电化学原子力显微镜是研究早期腐蚀过程的有效研究手段 ,可原位观察研究微观腐蚀的过程

引用

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共 4 条

[1] 不锈钢点腐蚀发生的早期过程Ⅱ.电化学扫描隧道显微研究 [J].