利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动

被引：9

作者：

郭彤

胡春光

胡晓东

栗大超

金翠云

傅星

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津,天津,天津,天津,天津,天津,天津

来源：

光子学报 | 2005年 / 10期

关键词：

微机电系统; Mirau显微干涉仪; 面内运动; 离面运动; 频闪照明;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运动则取决于频闪得到的干涉图像,该图像在物镜纳米定位器的8个不同位置处得到.实验结果表明了系统进行面内和离面运动测量的纳米级分辨力.

引用

页码：1542 / 1545

页数：4

共 3 条

[1] 表面微观形貌测量中数字图象处理的应用 [J].

惠梅 ;

牛憨笨 ;

许谊 ;

徐毓娴 ;

李庆祥 .

光子学报, 2001, (11) :1372-1375

[2] 光纤传感器在微机电系统振动测量中的应用 [J].

李鸣明 ;

王昭 ;

贾书海 ;

谭玉山 ;

不详 .

光子学报 , 2001, (04) :438-441

[3]

High-speed visualization, a powerful diagnostic tool for microactuators – retrospect and prospect[J] . P. Krehl,S. Engemann,C. Rembe,E. P. Hofer.Microsystem Technologies . 1999 (3)

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