880nm半导体激光器列阵及光纤耦合模块

被引:22
作者
王祥鹏 [1 ,2 ]
梁雪梅 [1 ,2 ]
李再金 [1 ,2 ]
王冰冰 [3 ]
王立军 [1 ]
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理实验室
[2] 中国科学院研究生院
[3] 清华大学工程物理系
关键词
880nm半导体激光器列阵; 光纤耦合; 阶梯镜;
D O I
暂无
中图分类号
TN248.4 [半导体激光器];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
为了使半导体激光泵浦Nd∶YVO4固体激光器能获得大功率、高光束质量、线偏振的激光输出,利用PICS3D软件设计了InGaAs/GaAs应变量子阱结构,制作了发射波长为880 nm的大功率半导体激光器列阵。该激光器列阵激射区单元宽为100μm,周期为200μm,填充因子为50%,激光器列阵CS封装模块室温连续输出功率达60.8 W,光谱半高全宽(FWHM)为2.4 nm。为进一步改善大功率半导体激光器列阵的光束质量,增加半导体激光端面泵浦功率密度,采用阶梯反射镜组对880 nm大功率半导体激光器列阵进行了光束整形,利用阶梯镜金属表面反射率受近红外波长变化影响小的特点,研制出高稳定性、大功率光纤耦合模块。模块输出功率为44.9 W,光-光耦合效率达73.8%,尾纤芯径Φ为400μm,数值孔径(NA)为0.22。
引用
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页数:7
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