飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究

被引：11

作者：

姜涛 ^{[1
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赵清亮 ^{[1
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董志伟 ^{[2
]}

樊荣伟 ^{[2
]}

于欣 ^{[2
]}

机构：

[1] 哈尔滨工业大学精密工程研究所

[2] 哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐(气体)激光技术国家级重点实验室

来源：

红外与激光工程 | 2010年 / 39卷 / 06期

关键词：

飞秒激光; SiC; 烧蚀阈值; 材料去除机理;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

应用处于近红外区域波段的飞秒激光对宽带隙材料SiC的烧蚀机理及其相互作用过程进行了研究。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面粗糙度轮廓仪(Talysurf)和光学显微镜(OM)等分析技术对烧蚀区和未烧蚀区的表面微观形貌进行了检测和评价。不仅在烧蚀表面观察到了烧蚀区、定向波纹区和改性区等不同形貌特征,而且对加工阶段进行分离,并求出加工SiC时强烧蚀和弱烧蚀的阈值分别为0.13 J/cm2和0.61 J/cm2。根据实验结果得到了加工参数与烧蚀形貌之间的映射关系,发现入射激光的能量是决定材料去除方式的关键参数。

引用

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