射频微机械共面波导开关测试技术研究

被引：1

作者：

张正元

肖坤光

徐世六

张正璠

欧益宏

温志渝

机构：

[1] 重庆大学光电工程学院

[2] 中国电子科技集团公司第二十四研究所

[3] 重庆大学光电工程学院重庆

[4] 重庆

[5] 国家模拟集成电路重点实验室

来源：

微电子学 | 2003年 / 01期

关键词：

射频微机械; 共面波导开关; 金属膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM564 [各种开关];

学科分类号：

080801 ;

摘要：

通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构。根据Cadence工作站的模拟,验证了该方案的可行性,并获得了该测试结构的优化电参数条件,为射频微机械CPW开关的测试和应用打下了基础。

引用

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页数：4

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共 2 条

[1] DCDC—20GHz射频MEMS开关(英文) [J].

朱健 ;

林金庭 ;

林立强 .

半导体学报, 2001, (06) :706-709

[2]

Micro electro-mechanical systems[P]. 英国专利:GB0023477D0,2000-11-08