纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法

被引：7

作者：

吴一辉，王立鼎

机构：

[1] 中科院长春光学精密机械研究所

来源：

压电与声光 | 1996年 / 03期

基金：

国家攀登计划;

关键词：

PZT致动器，纳米定位，滞后，蠕变;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN712.5 [];

学科分类号：

080902 ;

摘要：

总结了近年来用ＰＺＴ致动器进行纳米线性定位控制的方法，对其特点和局限性进行了分析，并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。

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页码：207 / 211

页数：5

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