透明电极薄膜的制备及其电阻率测量普通物理实验

被引：12

作者：

邱宏

吴平

李腾飞

潘礼庆

赵雪丹

田跃

马瑞新

机构：

[1] 北京科技大学应用科学学院物理系

来源：

实验技术与管理 | 2007年 / 02期

关键词：

透明电极薄膜; 直流溅射; 四探针技术; 电阻率; 普通物理实验;

D O I：

10.16791/j.cnki.sjg.2007.02.009

中图分类号：

TB383.2 [];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

介绍了如何把“透明电极薄膜的制备及其电阻率测量”的实验引入到普通物理实验教学中,用简单的直流溅射镀膜仪制备不同厚度的金属氧化物透明电极薄膜(ZnO:A l薄膜),并用四探针测量了它们的电阻率。该实验是对已经在北京科技大学国家工科物理基础课程教学基地开设的大学生普通物理实验内容的新扩充[1]。

引用

页码：25 / 28

页数：4

共 6 条

[1] 将溅射镀膜及薄膜生长动态监测技术引入普通物理实验 [J].

黄筱玲 ;

田跃 ;

邱宏 .

物理实验, 2005, (05) :28-30

[2] 把“四探针测量金属薄膜电阻率”引入普通物理实验 [J].

邱宏 ;

吴平 ;

王凤平 ;

潘礼庆 ;

黄筱玲 ;

田跃 .

大学物理, 2004, (05) :59-61+65

[3]

用研究型教学理念指导工科物理理论课与实验课的整体优化[A]. 罗胜,吴平,赵雪丹,尹红,潘礼庆.2005年全国高校非物理类专业物理教育学术研讨会论文集[C]. 2005

[4]

大学物理实验教程[M]. - 机械工业出版社 , 吴平主编, 2005

[5]

薄膜技术[M]. - 清华大学出版社 , 王力衡等著, 1991

[6]

Thin films .2 Kinbara A,Fujiwara H. Syokabo Publish-ing . 1991

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