共 2 条
热波检测及热波成像系统的实验研究
被引:1
作者:
乐光启
聂云刚
机构:
[1] 清华大学电子工程系
来源:
关键词:
热波;
热波探针;
热波显微技术;
离子注入;
扫描成像系统;
D O I:
10.16511/j.cnki.qhdxxb.1993.04.018
中图分类号:
学科分类号:
摘要:
介绍制成的热波检测及成像系统的原理、结构和实验结果。这种系统的基本特征是能对试件材料热性质(例如热传导系数)的差异作出响应,并能将扫描过程中逐点测得的结果表现为一幅反映热性质分布的高分辨率图像。因此,凡引起试件热性质发生变化的因素均可用这种系统来发现和评估。这种以热过程为基础的方法是对光学、声学、电磁、辐射等材料检测评估方法的重要补充,并在某些情况下有其独特的优点。
引用
收藏
页码:93 / 100
页数:8
相关论文