CrN基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究

被引：22

作者：

张广安 ^{[1
,2
]}

王立平 ^{[1
]}

刘千喜 ^{[2
]}

薛群基 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室

[2] 仪征双环活塞环有限公司

来源：

摩擦学学报 | 2011年 / 31卷 / 02期

关键词：

复合材料; CrN基薄膜; 结构:摩擦磨损;

D O I：

10.16078/j.tribology.2011.02.005

中图分类号：

TB3833.2 [];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜,分析了复合薄膜的微观结构,并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变,仍然为面心立方结构.CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜,其中Al以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体;CrSiN复合薄膜为晶态CrN与非晶态Si3N4组成纳米复合结构.复合薄膜结构致密且硬度较CrN大幅提高,在摩擦磨损过程中具有较强的抗形变能力,能够有效阻止裂纹,抗摩擦磨损性能较CrN薄膜均有不同程度的提高.

引用

页码：181 / 186

页数：6

共 11 条

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