掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备及其摩擦性能研究

被引：1

作者：

姚舜晖 ^{[1
]}

苏演良 ^{[2
]}

高文显 ^{[3
]}

郑凯文 ^{[2
]}

机构：

[1] 长荣大学会计信息系

[2] 成功大学机械工程系

[3] 建国科技大学机电光系统研究所

来源：

摩擦学学报 | 2006年 / 05期

关键词：

复合材料; Zr-Ti-N薄膜; 摩擦磨损性能;

D O I：

10.16078/j.tribology.2006.05.004

中图分类号：

TB383.2 [];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳.

引用

页码：413 / 416

页数：4

共 3 条

[1] 磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究 [J].