朗谬尔单探针测量螺旋波等离子体参量

被引：2

作者：

刘丽辉

于威

赵启大

傅广生

机构：

[1] 南开大学现代光学研究所

[2] 河北大学物理科学与技术学院

[3] 河北大学物理科学与技术学院天津

[4] 河北保定

[5] 天津

来源：

南开大学学报(自然科学版) | 2004年 / 03期

关键词：

螺旋波等离子体; 朗谬尔单探针; 电子温度; 电子密度;

D O I：

暂无

中图分类号：

O536 [辐射与测量];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

在国内首次引入了一种用朗谬尔单探针测量螺旋波等离子体参数的简单方法,并阐述了测量原理,对实验结果进行了初步的讨论.结果表明测量螺旋波等离子体参量的朗谬尔单探针法简单可行,是一种较好的测量手段.

引用

页码：28 / 31

页数：4

共 4 条

[1] 螺旋波等离子体的实验研究 [J].

江南 ;

王珏 ;

凌一鸣 .

真空科学与技术, 2000, (03) :55-57

[2] 射频辉光放电等离子体的电探针诊断及数据处理 [J].

姚若河 ;

池凌飞 ;

林璇英 ;

石旺舟 ;

林揆训 .

物理学报, 2000, (05) :922-925

[3]

等离子体加工技术[M]. 清华大学出版社 , 甄汉生著, 1990

[4]

Characterization of boron nitride films synthesized by helicon wave plasma-assisted chemical vapor deposition .2 Kyoung-Bo Kim,Seon-Hyo Kim. Diamond and Related Materials . 2000

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