SiO2半波覆盖层对HfO2/SiO2高反射膜激光损伤的影响<spanid="corr-video"class="type"style="display:none">附视频</span>

被引：10

作者：

胡建平

邱服民

付雄鹰

曾勋

机构：

[1] 成都精密光学工程研究中心!四川成都

来源：

强激光与粒子束 | 2001年 / 02期

关键词：

SiO2半波覆盖层; 激光损伤阈值; 损伤图貌; 高反射膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN244 [激光材料及工作物质];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

研究了 Si O2 半波覆盖层对 Hf O2 /Si O2 高反射膜 1 0 64nm激光损伤的影响 ,分析薄膜的激光损伤特性及图貌得出 ,对于单脉冲 ( 1 -ON-1 )激光损伤 ,Si O2 半波覆盖层能提高 Hf O2 /Si O2 高反射膜的激光损伤阈值 ;可显著降低激光损伤程度 ,减小灾难性损伤发生的概率 ;可大幅度提高 Hf O2 /Si O2 高反射膜的抗激光损伤能力

引用

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