金膜、光盘和LB膜的摩擦力显微镜研究

被引：4

作者：

路新春

温诗铸

建斌

赵磊

戴长春

张平诚

白春礼

机构：

[1] 清华大学摩擦学国家重点实验室

[2] 中国科学院化学研究所

[3] 中国科学院化学研究所北京

[4] 北京

来源：

科学通报 | 1996年 / 10期

基金：

中国博士后科学基金;

关键词：

纳米摩擦; 金膜; 光盘; 润滑;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH117 [机械摩擦、磨损与润滑];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

<正>纳米摩擦学的提出适应现代科学技术发展的需要.传统的摩擦磨损和润滑理论经过百多年的发展,虽然已经比较完善地解决一般工程设计问题,但对于摩擦学机理的认识和实现主动控制还存在许多问题,特别是对于微型机械或超精密机械中,例如极轻载荷、纳米尺度间隙下的摩擦磨损和润滑问题.宏观摩擦学已不适用.摩擦力显微镜（Friction force micro-scope,以下简称FFM）的出现为人们能在纳米尺度上进行摩擦磨损实验提供了有效工具.虽然国外学者已利用FFM作了许多工作,但用FFM进行纳米摩擦学实验并不象宏观摩擦磨损实验那样成熟.我们在研制FFM的基础上利用FFM进行了尝试性试验,本文报道了一些初步结果.关于摩擦力显微镜的描述见文献[7].作为摩擦力显微镜力传感器用的微悬臂是通过镀膜、刻蚀等工序制作而成.微悬臂呈三角形结构,材料为Si3N4,自由端有一个金字塔形微探针.当探针与样品接触时,可以控制压电陶瓷的伸缩使微悬臂产生不同程度的弯曲,从而实现微载荷定量设定,微载荷可通过下式求得:L=k·△h=k·p·△V,（1）其中k是微悬臂的弹性系数;△h是微悬臂的法向位移;p为压电陶瓷的伸缩系数;△V为加在压电陶瓷上的电压变化.实验材料有3种,分别为精抛光玻璃表面真空沉积的金膜、激光唱盘基片和小分子花生酸与高分子液晶

引用

页码：885 / 888

页数：4

共 4 条

[1] 激光检测摩擦力显微镜的研制 [J].

路新春 ;

温诗铸 ;

孟永钢 ;

黄平 ;

戴长春 ;

黄桂珍 ;

王培森 ;

白春礼 ;

不详 .

科学通报 , 1996, (19) :1753-1755

[2] 微观摩擦磨损研究的新进展 [J].

路新春，温诗铸，雒建斌 .

摩擦学学报, 1995, (02) :177-183

[3] 微观摩擦学研究进展 [J].

薛群基，张军 .

摩擦学学报, 1994, (04) :360-369

[4]

扫描隧道显微术及其应用[M]. 上海科学技术出版社 , 白春礼编著, 1992

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