复杂微力-电系统的细微尺度力学

被引:10
作者
余寿文
机构
[1] 清华大学
关键词
多层叠合膜微结构;微电子-机械系统;细微尺度结构力学;细微尺度破坏力学;
D O I
暂无
中图分类号
TB12-39 [];
学科分类号
摘要
现代高新技术的崛起,提出了大量新的经典力学所不能完全包容的力学问题。这将是现代应用力学发展的巨大动力。微电子技术中微电子材料、器件、系统和微电子-机械系统(microelectro-mechanicalsystem,MEMS)所组成的复杂微力-电系统,是跨世纪发展的新科技方向,本文简要介绍了复杂微力,电系统的工业技术背景和发展;综述了这一领域存在的力学问题,主要讨论细微尺度下的结构力学与破坏力学。并评介与展望了这一新的力学领域的研究状况和发展趋势。
引用
收藏
页码:249 / 259
页数:11
相关论文
共 4 条
[1]   微型机械的现状与发展 [J].
干东英,王立鼎 .
机械工程学报, 1994, (02) :1-8
[2]   固体力学与材料科学交缘的几个新课题 [J].
余寿文 .
力学进展, 1994, (01) :24-36
[3]   薄膜-基底的几个力学问题 [J].
余寿文 .
力学与实践, 1993, (04) :1-8
[4]  
固体力学及其工程应用[M]. 清华大学出版社 , 黄克智, 1993