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复杂微力-电系统的细微尺度力学
被引:10
作者
:
余寿文
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
清华大学
余寿文
机构
:
[1]
清华大学
来源
:
力学进展
|
1995年
/ 02期
关键词
:
多层叠合膜微结构;微电子-机械系统;细微尺度结构力学;细微尺度破坏力学;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TB12-39 [];
学科分类号
:
摘要
:
现代高新技术的崛起,提出了大量新的经典力学所不能完全包容的力学问题。这将是现代应用力学发展的巨大动力。微电子技术中微电子材料、器件、系统和微电子-机械系统(microelectro-mechanicalsystem,MEMS)所组成的复杂微力-电系统,是跨世纪发展的新科技方向,本文简要介绍了复杂微力,电系统的工业技术背景和发展;综述了这一领域存在的力学问题,主要讨论细微尺度下的结构力学与破坏力学。并评介与展望了这一新的力学领域的研究状况和发展趋势。
引用
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页码:249 / 259
页数:11
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