退火时间对6H-SiC(0001)表面外延石墨烯形貌和结构的影响

被引:12
作者
唐军 [1 ]
刘忠良 [1 ,2 ]
康朝阳 [1 ]
闫文盛 [1 ]
徐彭寿 [1 ]
潘海斌 [1 ]
韦世强 [1 ]
高玉强 [3 ]
徐现刚 [3 ]
机构
[1] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室
[2] 淮北煤炭师范学院物理与电子信息学院
[3] 山东大学晶体材料国家重点实验室
关键词
Raman; 石墨烯; 6H-SiC; 退火时间; RHEED; AFM; NEXAFS;
D O I
暂无
中图分类号
O613.71 [碳C];
学科分类号
070301 ; 081704 ;
摘要
在分子束外延(MBE)设备中,采用高温退火的方法在6H-SiC(0001)表面外延石墨烯,并研究了退火时间对外延石墨烯形貌和结构的影响.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱(Raman)和近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)等实验技术对制备的样品进行了表征.RHEED结果发现,不同退火时间的样品在SiC衍射条纹的外侧都出现了石墨烯的衍射条纹.AFM测试表明,外延石墨烯的厚度随退火时间增加而增大,且样品孔洞减少、表面更加平整.Raman测试表明,外延石墨烯拉曼谱中2D峰和G峰的位置相对高定向热解石墨(HOPG)中2D峰和G峰的位置蓝移,且退火时间增加,峰的蓝移量减小.对样品中碳原子K边NEXAFS谱测量显示,样品中存在sp2杂化的碳原子,退火时间增加使碳原子的1s→π以及1s→σ吸收的强度增大,且1s电子到π态的吸收峰相对HOPG的向高能偏移.
引用
收藏
页码:253 / 258
页数:6
相关论文
共 2 条
[1]   一种新型Si电子束蒸发器的研制及其应用研究 [J].
王科范 ;
刘金锋 ;
邹崇文 ;
徐彭寿 ;
潘海滨 ;
张西庚 ;
王文君 .
真空科学与技术学报, 2005, (01) :79-82
[2]   Temperature Dependence of Epitaxial Graphene Formation on SiC(0001) [J].
Luxmi ;
Nie, Shu ;
Fisher, P. J. ;
Feenstra, R. M. ;
Gu, Gong ;
Sun, Yugang .
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2009, 38 (06) :718-724