光栅式大量程高分辨率位移测量研究

被引：3

作者：

吕海宝

曹聚亮

颜树华

徐涛

机构：

[1] 国防科学技术大学机电工程与自动化学院

来源：

中国机械工程 | 2000年 / 08期

关键词：

量程; 分辨率; 位移测量; 光栅; 光学细分;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

提出一种光栅式位移测量新方法 ,利用单个普通低线数计量光栅 ,实现高分辨率、大量程的位移测量。给出测量光路图 ,分析测量原理 ,最后介绍初步原理实验及结果。

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页码：44 / 46+3

页数：4

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共 1 条

[1] 位移精密测量技术的研究 [J].

邾继贵，吕海宝，漆新民 .

国防科技大学学报, 1994, (02) :43-48