学术探索
学术期刊
新闻热点
数据分析
智能评审
立即登录
溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究
被引:2
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
刘隆鉴
沈杰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
四川工业学院物理实验中心!成都
沈杰
章壮健
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
四川工业学院物理实验中心!成都
章壮健
机构
:
[1]
四川工业学院物理实验中心!成都
[2]
复旦大学材料科学系!上海
来源
:
物理学报
|
2000年
/ 02期
关键词
:
电光谱;
厚度;
在线监测;
谱线强度;
表面成分;
透射光;
光谱光源;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN304.055 [];
学科分类号
:
摘要
:
在制备薄膜的过程中,利用光谱分析的方法,以放电光谱特征谱线强度的变化来反映相应物质成分的变化,以连续光谱光源发出的光透射过薄膜的透射率的变化,来反映薄膜的厚度、折射率、吸收系数等光学参数的变化,从而达到在制膜过程中,对薄膜的成分、厚度等参数进行在线监控的目的.
引用
收藏
页码:133 / 138
页数:6
相关论文
共 2 条
[1]
直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶成分的在线监测
[J].
刘隆鉴,沈杰,章壮健
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
四川工业学院物理系,复旦大学材料科学系
刘隆鉴,沈杰,章壮健
.
低温物理学报,
1995,
(03)
:242
-248
[2]
J. C. Manifacier,J. Gasiot,P. Fillard. J. Phys. E Sci. Instrum . 1976
←
1
→
共 2 条
[1]
直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶成分的在线监测
[J].
刘隆鉴,沈杰,章壮健
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
四川工业学院物理系,复旦大学材料科学系
刘隆鉴,沈杰,章壮健
.
低温物理学报,
1995,
(03)
:242
-248
[2]
J. C. Manifacier,J. Gasiot,P. Fillard. J. Phys. E Sci. Instrum . 1976
←
1
→