溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究

被引:2
作者
刘隆鉴
沈杰
章壮健
机构
[1] 四川工业学院物理实验中心!成都
[2] 复旦大学材料科学系!上海
关键词
电光谱; 厚度; 在线监测; 谱线强度; 表面成分; 透射光; 光谱光源;
D O I
暂无
中图分类号
TN304.055 [];
学科分类号
摘要
在制备薄膜的过程中,利用光谱分析的方法,以放电光谱特征谱线强度的变化来反映相应物质成分的变化,以连续光谱光源发出的光透射过薄膜的透射率的变化,来反映薄膜的厚度、折射率、吸收系数等光学参数的变化,从而达到在制膜过程中,对薄膜的成分、厚度等参数进行在线监控的目的.
引用
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共 2 条
[1]   直流磁控溅射制备YBCO高Tc超导薄膜过程中靶成分的在线监测 [J].
刘隆鉴,沈杰,章壮健 .
低温物理学报, 1995, (03) :242-248
[2]  
J. C. Manifacier,J. Gasiot,P. Fillard. J. Phys. E Sci. Instrum . 1976