类金刚石涂层在不同载荷和湿度下的摩擦特性

被引：22

作者：

韩修训

阎鹏勋

阎逢元

刘维民

机构：

[1] 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室

[2] 兰州大学等离子体与金属材料研究所

来源：

摩擦学学报 | 2003年 / 01期

关键词：

磁过滤等离子体; 类金刚石涂层; 摩擦性能;

D O I：

10.16078/j.tribology.2003.01.002

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置在单晶硅基底上制备了类金刚石涂层 ,采用原子力显微镜和纳米压痕仪测定了其表面形貌及硬度 ,在 DF- PM型动 -静摩擦系数精密测定仪上考察了涂层在不同载荷及湿度下同 GCr15钢对摩时的摩擦性能 .结果表明 ,在不同环境湿度条件下 DL C涂层的摩擦性能明显不同 ,这主要归因于转移膜形成机理的不同 ;在 3N载荷下 ,DL C涂层同 GCr15钢对摩时的摩擦系数相对较小 ,且较为稳定 ;当环境湿度增大至 10 0 %时 ,摩擦系数显著增大 ,并发生类似于含氢类金刚石涂层的灾难性磨损

引用

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页数：5

共 7 条

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