类金刚石碳膜的摩擦学特性及其研究进展

被引:54
作者
李刘合
夏立芳
张海泉
张彦华
周志敏
机构
[1] 北京航空航天大学教研室!北京
[2] 哈尔滨工业大学材料学院
[3] 黑龙江哈尔滨
[4] 哈尔滨工业大学材料学院!黑龙江哈尔滨
关键词
金刚石膜; 类金刚石碳膜; 摩擦学特性;
D O I
10.16078/j.tribology.2001.01.019
中图分类号
O484 [薄膜物理学];
学科分类号
080501 ; 1406 ;
摘要
从类金刚石碳膜作为耐磨涂层的角度出发 ,综述了近年来国际上关于类金刚石碳膜摩擦学特性的大量研究 ,着重讨论了影响类金刚石碳膜摩擦学特性的主要工艺参数和因素 ,阐明了类金刚石碳膜与金刚石膜在性能上的差异 ,指出了类金刚石碳膜的发展现状和趋势 .
引用
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