热氧化纳米Zn制备ZnO厚膜及其气敏特性的研究

以激光 -感应复合加热法制备的纳米Zn为气敏基料 ,以蒸馏水为粘结剂 ,用空气电阻炉在 6 0 0℃氧化烧结 2h ,在Al2 O3 陶瓷管上制备了旁热式厚膜气敏元件。然后进行了XRD检测和SEM电镜观察 ,以静态配汽法作气敏性能的测试。结果表明 :ZnO形成了由纳米棒、纳米薄片组成的带空隙的厚膜 ,其颗粒形貌和膜结构能够承受气敏性能测试的温度冲击而保持稳定 ,对VOCs具有较好的气体敏感性。