多轴微加速度传感器的进展

被引：2

作者：

刘妤 ^{[1
]}

温志渝 ^{[2
]}

杨红韵 ^{[1
]}

机构：

[1] 重庆工学院汽车学院

[2] 重庆大学光电工程学院

来源：

关键词：

微机电系统; 微加速度传感器; 多轴;

D O I：

10.13873/j.1000-97872007.04.005

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

摘要：

微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。

引用

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页数：3

共 6 条

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