微硅加速度传感器的发展

本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十年代发展至今，其代表产品的特点，对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析，指出其优缺点，并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度的三维加速度计进行了重点讨论。