行走式尺蠖压电直线驱动器研究现状及关键技术综述

被引：9

作者：

马立 ^{[1
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]}

周莎莎 ^{[1
]}

王坤 ^{[1
]}

机构：

[1] 上海大学机电工程与自动化学院

[2] 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室

来源：

微电机 | 2012年 / 45卷 / 07期

关键词：

压电驱动器; 尺蠖运动; 箝位机构; 微位移检测; PID控制;

D O I：

10.15934/j.cnki.micromotors.2012.07.003

中图分类号：

TP273 [自动控制、自动控制系统];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

尺蠖压电驱动器具有大行程、高精度、大输出力、快速响应、无磁场影响等优点,在超精密定位领域具有广泛的应用前景。而行走式尺蠖压电驱动器又以箝位机构结构简单、刚度和动态性能好,中间驱动机构偏摆小,整体体积小,运动稳定性好等特性引起世界各国的关注。在阐述行走式尺蠖压电驱动器的本质、组成结构及运动原理的基础上,对其国内外研究现状及其关键技术进行了分析,并对其发展趋势进行了展望。

引用

页码：82 / 85

页数：4

共 9 条

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