利用扫描电镜和原子力显微镜测量纳米微孔阳极氧化铝膜

被引：6

作者：

任刚

许如清

韩立

陈皓明

机构：

[1] 清华大学物理系扫描探针显微镜实验室

[2] 清华大学物理系原子分子纳米科学研究中心

[3] 清华大学物理系扫描探针显微镜实验室北京

[4] 北京

来源：

物理 | 2003年 / 01期

关键词：

AFM; SEM; 多孔型阳极氧化铝膜; 纳米;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.5 [薄膜测量与分析];

学科分类号：

摘要：

利用多孔型阳极氧化铝膜（PAA）制备纳米材料是近年来研究的热点之一，对PAA的形貌进行准确的表征具有重要的意义.文章首先分析了传统的扫描电镜（SEM）观测方法中镀膜工艺对样品和测量结果的影响，并提出了对镀膜过渡区进行观测的方案.然后着重研究了利用原子力显微镜（AFM）对PAA进行无损测量的方法，比较了不同测量模式下的测量结果，并利用Reiss模型对“针尖-样品卷积效应”进行了有效的修正.文章的研究结果不仅适用于多孔型阳极氧化铝膜这一研究领域，对于纳米多孔材料的测量也有普遍的参考价值.

引用

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