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- [2] 实用电子电路手册[M]. 科学技术文献出版社 , 易辛编译, 1992
复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试
被引：5
作者：
王三红
吴小清
姚熹
不详
机构：
[1] 西安交通大学电子与信息工程学院!
[2] 西安
[3] 西安
来源：
关键词：
红外探测器;
复合热释电薄膜;
溶胶凝胶;
电压响应率;
星探测率;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN21 [红外技术及仪器];
学科分类号：
摘要：
为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题 ,引入了复合热释电薄膜的概念 .它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点 ,有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散 .利用溶胶 凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测器 ,在温度为 4 2 0K、频率为 10Hz时 ,电压响应率约为 140 0V/W ,探测器的星探测率D ( 4 2 0 ,10 ,2 )为 9 3× 10 7cm·Hz1/2 /W .
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