基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究

被引：13

作者：

荣伟彬 ^{[1
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王家畴 ^{[1
]}

赵玉龙 ^{[2
]}

陈立国 ^{[1
]}

孙立宁 ^{[1
]}

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所

[2] 西安交通大学精密工程研究所

来源：

仪器仪表学报 | 2007年 / 04期

关键词：

三维微力传感器; 压阻检测技术; 有限元分析; 标定实验;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2007.04.022

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

摘要：

针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法。实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求。传感器最大量程为10mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2μN。

引用

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页数：7