多元超硬膜TiAlN的制备及其组织性能研究

被引：11

作者：

刘德浚

王少刚

姚正军

沈星

机构：

[1] 南京航空航天大学材料科学与工程系!江苏南京

来源：

关键词：

离子镀; TiAlN; 制备; 组织和性能;

D O I：

10.14158/j.cnki.1001-3814.1999.06.009

中图分类号：

TG174.444 [真空镀与气相镀法];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

采用空心阴极离子镀方法，分别以Ｔｉ＋Ａｌ％和ＴＣ４作为蒸发材料，在高速钢表面沉积ＴｉＡｌＮ多元超硬膜。结果表明，该镀膜工艺可行，制备出的ＴｉＡｌＮ膜层性能优异，即硬度高、膜层与基体之间结合良好。文中还对膜层的微观组织结构进行了分析。

引用

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