扫描电子显微镜与原子力显微镜技术之比较

被引：29

作者：

陈耀文 ^{[1
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林月娟 ^{[1
]}

张海丹 ^{[1
]}

沈智威 ^{[1
]}

沈忠英 ^{[2
]}

机构：

[1] 汕头大学中心实验室

[2] 汕头大学医学院

来源：

关键词：

原子力显微镜; 扫描电子显微镜; 表面形貌; 化学成分;

D O I：

10.13505/j.1007-1482.2006.01.019

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

SEM和AFM技术是最常用的表面分析方法。本文介绍了SEM和AFM两种技术的原理,描述了这两种技术在样品形貌结构、成分分析和实验环境等方面的性能,比较了两种技术的特性和不足,充分利用两种技术的互补性,将两种技术结合使用,有助于更加深刻地认识样品的特性。

引用

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