高线性非接触式电容位移传感器

被引：8

作者：

张建雄

孙宝元

戴恒震

胡旭晓

机构：

[1] 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

来源：

关键词：

电容; 传感器; 微位移; 高线性; 检测电路;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

设计一种新型电容式微位移传感器,给出了检测电路。原理为20 kHz的正弦信号加在传感器上,传感器产生的交流电压与电容电极之间的距离成正比。电路包括正弦信号发生电路、精密全波整流电路、滤波电路和信号放大电路。实验证明:该传感器线性度小于3%,分辨率优于0.01μm.

引用

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