长焦距激光光学系统焦距测试方法

被引:9
作者
段亚轩
陈永权
赵建科
李坤
田留德
张洁
机构
[1] 中国科学院西安光学精密机械研究所
关键词
测量; 激光光学; 焦距; 波前传感器; 不确定度;
D O I
暂无
中图分类号
TN247 [光检测技术];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
为了测试长焦距激光光学系统焦距,对基于自准直原理的焦距测试精度进行了理论分析,提出了一种采用光纤激光器、分光镜、平面镜、精密测角仪、电荷耦合器件(CCD)探测器和波前采集系统的焦距测试方法。通过自行设计的波前采集系统测试被测激光光学系统透射波前,使光纤点源置于其焦点位置。由CCD探测器扫描自准直点源像面,通过扫描定焦算法,使CCD探测器置于最佳像面位置。旋转平面镜使精密测角仪和CCD探测器同步采集,通过精密测角仪获取平面镜旋转的角度和质心法判读点源像移动的线量,获取被测激光光学系统的焦距。采用此方法对焦距为7171mm的激光光学系统焦距进行测试,并对测试结果进行分析,扩展不确定度为13.48mm(k=2)。结果表明,该方法可满足长焦距激光光学系统的焦距测试要求。
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